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离子注入机 IH-860DSIC

详细信息

产品描述

特长

·可以自动连续高温处理注入

·1价离子可注入350keV,2价离子可注入700keV(可选择1价离子可注入430keV,2价离子可支持860keV)

·在双端站实现高吞吐量(A系4“高温ESC/B系3”高温ESC、A系6“高温ESC/B系6”常温ESC等,可根据客户的要求构建规格)

·可以进行链条注入,减轻操作员的负荷

·小型设计

·从试作到量产可以广泛对应

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