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刻蚀机NE-550EX

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产品描述
用于研究开发的高密度等离子蚀刻装置NE-550 EX,以有磁场ICP(ISM=Inductivery Super Magnetron)方式的高密度等离子蚀刻装置,采用单叶式的标准装备了LL室,实现了紧凑、低价格。

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